【背景と目的】
繊維製品の発塵性測定や各種ろ過布による塵の捕集効率測定は、半導体産業をはじめ医療分野(手術室の繊維製品やマスクなど)、その他(採石場などの粉塵など)多くの産業分野で必要とされる性能評価です。近年の先端技術産業の発達に伴って試験のニーズも多様化していおり、特に、半導体工業では、トランジスタ、IC、LSI、超LSIと技術革新が進んでおり、既に0.1μm程度の粒子の制御が問題となっています。現在、当協会にJIS B 9923(クリーンルーム用衣服の汚染粒子測定方法)の発塵性試験の依頼があった場合、外部依頼しています。
そこで、現在外部依頼している発塵性試験を内部で実施できる態勢を整えること、加えて、近年の多様化し高清浄度化する試験ニーズに対応できる態勢を整えることを目的とし、発塵性試験方法を検討しました。
【内容】
昨年度の調査をもとに、発塵性試験を実施するために必要なクリーンな試験環境等、測定に必要な装置を整備しました。
試験機は、JIS B 9923のタンブリング式発塵試験機と、ISO 9073‐10(不織布の試験−第10部:乾燥状態における糸くず及びその他の毛玉の発生)のゲルボフレックス試験機を導入しました。試験の前処理のクリーン洗濯効果を確認するとともに、試験条件を検討し、前処理外注先、ドラム回転数を決定しました。さらに、JISやISO規定の測定粒径よりもさらに小粒径での計測を検討しました。また、タンブリング法とゲルボフレックス法の発塵数を比較しました。
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タンブリング式発塵試験機 |
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ゲルボフレックス試験機 |
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